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長庚大學 綠色科技研究中心
分類清單
中心現存重要設備一覽-蒸鍍及濺鍍設備

    

                      MOCVD-1                                                                   MOCVD-2

    

   Selenization System硒化爐            Thermal System熱蒸鍍機系統

 

   

            Sputter System濺鍍沉積系統       Thermal Evaporation System薄膜真空熱蒸鍍機系統

 

   

      E-BEAM System電子束沉積系統       有機發光二極體(OLED)薄膜沉積系統